Yarı İletken Ürün Yetenekleri: Islak Proses ve Plazma Sistemleri

Yetenekleri

Springs

Yarı iletken sızdırmazlık ürünlerinde tek tedarikçiniz[No text in field]

Yarı iletken sızdırmazlık ürünlerimizin özellikleri:

  • Çalışma sıcaklıkları kriyojenik sıcaklıklardan 850°C / 1562°F'ye kadar
  • Neredeyse üniversal kimyasal dayanım
  • Hem ısıl hem vakum veya basınç altında mükemmel kararlılık
  • Olağanüstü düşük iyonik kirlilik seviyeleri (anyonik ve katyonik) ve TOC (Toplam Organik Karbon)
  • Yüksek sıcaklıklarda dahi minimum parçacık üretimi ve gaz çıkışı
  • Düşük geçirim oranları
  • Azaltılmış IR emişi ve ağırlık kaybı
  • İyimekanik performans
  • Düşük uzun süreli kalıcı ezilme
  • Kuru ve ıslak proses kimyasallarına dayanım

Farklı yarı iletken ortamlarına uygun sızdırmazlarımızı inceleyin:

Zorlu kimyasallar

Zorlu kimyasallara dayanıklı

LSR3

Yarı iletken üretimi esnasında sızdırmazlar bilinen bazı zorlu kimyasallara tabi tutulur. Bunlar en zararlı türde asit, alkaliler, solventler ve gazları içerir.

Sızdırmaz uyumluluğunu maksimuma çıkarın
Trelleborg Sealing Solutions standart sızdırmazlık formüllerinin malzemelerle uyumluluğunu maksimuma çıkarmaya ve Isolast® Fab Range™ gibi özel bileşimli perfloroelastomer malzemelerin geliştirilmesine yoğunlaşmıştır.

Isolast® Fab Range™ sızdırmazlık malzemeleri ve son teknoloji Turcon® PTFE bazlı bileşimlerimiz tüm madde ve gazlarla neredeyse üniversal olarak uyumludur.

En uygun yarı iletken sızdırmazlık malzemesini kolayca seçin
Uygulamanıza en uygun yarı iletken sızdırmazlık malzemesini belirlemek için çevrimiçi aracımızı kullanın: Kimyasal Uyumluluk Kontrolü.

Yüksek sıcaklıklar

Yüksek sıcaklıklara dayanıklı

High-temperature semiconductor wafer processing and plasma applications include Rapid Thermal Processing (RTP), Chemical Vapor Deposition (CVD) and dry plasma etch.

Maximum sealing performance

Seals must withstand temperatures above 300°C / 572°F with main requirements of low outgassing and minimum particle generation. Sealing materials from Trelleborg Sealing Solutions are proven to successfully operate at continuously elevated temperatures while withstanding demanding chemicals and media.

Recommended semiconductor sealing materials and products:

Plazma sistemleri

Zorlu plazma sistemleri

Plazma yarı iletken plaka üretiminin muhtelif aşamalarında kullanılır.

Plazma hali bir gazı enerjiyemaruz bırakılıp moleküler bütünlüğünün parçalanması ve iyon ve elektronlara ayrıştırılmasıyla oluşturulur. Yarı iletken proseslerinde bunu gerçekleştirmek için kullanılan gazların çoğu zehirli, reaktif ve piroforiktir.

Ultra saf sızdırmazlık çözümleri

Sızdırmazların yüksek enerjiye ve olası yüksek sıcaklıklara maruz kalacağı bu ağır plazma ortamına dayanması önemlidir. Yetersiz sızdırmazlık kirlenmeye yol açabilir ve ürün verimliliğini etkiler. Trelleborg Sealing Solutions ultra saf sızdırmazlık çözümleri minimum partikülasyon ve çok düşük gaz çıkışı ile uzun vadeli güvenilirlik sağlar.

Önerilen yarı iletken sızdırmazlık malzemeleri:

Vakum koşulları

Vakum içerisinde kullanım

Proses verimliliği ve üretkenlik için anahtar konumdaki vakum teknolojisi yarı iletken üretiminde kritik bir role sahiptir. Yarı iletken uygulamaları kuru pompalardan fotolitografi prosesleri gibi daha karmaşık alt sistemlere oldukça geniş yelpazelidir. Küçük dalgalanmalar bile tüm üretim çevriminde olumsuz etkiler yaratacağından dolayı, tutarlı bir vakum uygulaması hayatidir.

Sızdırmazlık çözümlerimiz zorlu testlerden geçerek kendilerini kanıtlamıştır
Tutarlı bir vakum uygulamasının sağlanmasında etkin sızdırmazlık önemli bir ögedir. Bu ortama en uygun sızdırmazı belirlemek üzere Trelleborg Sealing Solutions uzun süreli kapsamlı testler gerçekleştirdi ve sızdırmazlık çözümlerinin küresel vakum koşullarında etkin bir şekilde çalışacağını gösterdi.

Turcon® Variseal® olağanüstü sonuçlar veriyor
Testler yarı iletken uygulamalarında Turcon® Variseal® ürünlerle gerçekleştirildi. Sızdırmaza helyum püskürtüldü ve helyuma 10-6 mbar l/s ve havaya karşı 10-9 mbarl/s sızdırmazlık değerleri elde edildi. Bu rakamlar polimerik sızdırmazlar içinolağanüstü sonuçlardır.

Yarı iletken vakum uygulamaları için sızdırmaz ürünlerimiz:

Islak proses

Benzersiz ıslak proses uygulamaları

Yarı iletken ıslak üretim prosesi adımları asitle işleme, sıyırma, kaplama ve CMP'yi (Kimyasal Mekanik Parlatma) içerir. Bunların ardından yarı iletken plakasının temizlenerek tüm parçacık, organik, metalik ve doğal oksit kirlerinin giderilmesi gelir. Ayrıca kullanılan tüm sıvılar en yüksek saflıkta olmalıdır.

Bunlar, hidroflorik gibi asitler, sodyum hidroksit gibi alkali çözeltiler ve çoğunlukla N-metilpirolidon veya aseton gibi solventler de dahil olmak üzere ıslak proses kimyasallarıyla çalışan, kimyasal olarak yoğun yarı iletken proseslerdir.

Üniversal kimyasal dayanıma sahip kimyasallar
ULSI (ultra büyük ölçekli entegreler) prosesleri boyunca maksimum hizmet zamanı sağlamak için optimum sızdırmaz performansı kritik önem taşır. Trelleborg Sealing Solutions neredeyse üniversal kimyasal dayanım, minimum iyonik yabancı madde nüfuzu ve ıslak proses uygulamalarında çok düşük partikülasyon sağlayan yarı iletken sızdırmazlık malzemeleri sunar.

Önerilen yarı iletken sızdırmazlık malzemeleri: