Yarı İletken Sektörü Uygulama Örnekleri

Optimum çözüm

Trelleborg Sealing Solutions yarı iletken müşterileriyleçalışırken ortaklıklar geliştirir. Birlikte, birçok malzeme ve sızdırmazlık profili seçeneği arasından en iyisızdırmazlık çözümünü belirleyebiliriz.

Çözümlerimizi keşfedin.

En son yarı iletken prosesleri giderek daha zorlu gerekliliklere sahip oluyor. Bu ihtiyaçları karşılamak için,aşağıda listelenenlere benzer yenilikçi sızdırmazlık çözümleri geliştirildi.

CVD ekipmanları

CVD Ekipmanlarında Daha Uzun Kullanım Ömrü

Sızdırmazlık problemi:
CVD ekipmanlarının kullanıcıları yüksek kalite sızdırmazlık ürünlerine ihtiyaç duyar. Yüksek vakumlu ortamlar, kirlenmenin önlenmesi içinultra temiz sızdırmazlar gerektirir. Ek olarak, bu ortamlar kimyasal ve/veya termal olarak son derece zorludur.

Müşterilerimiz sürekli olarak ürünlerini geliştirmeye çalışırlar. Bu yüzdenmevcut uygulamalarında Isolast® J9670 malzemeden üretilmiş O-Halka sızdırmazlarımızı denediler.

Çözüm:
O-Halkaürünlerimiz Isolast® J9670 malzemeden üretildi. Bu özel perfloro elastomer bileşik Isolast® Fab Range™ ürünlerden biridir ve yarı iletken uygulamalar için özel olarak tasarlanmıştır. 315°C / 599°F'a kadar olan sıcaklıklarda kullanılacak şekilde tasarlanmıştır ve neredeyse tüm kimyasallara karşı üstün performans sunar.

Sonuç:
Isolast® J9670 malzeme, çeşitli plazma gazlar içerisinde test edildi ve sızdırmazlarda çatlağa rastlanmadı. Sızdırmazların önceki ürünlere kıyasla özellikle SF6 plazma gazlara karşı daha dayanıklı olduğu kanıtlandı. Bu, Isolast® J9670'in daha uzun kullanımömrü sağladığını gösterdi

Son iki buçuk yılda, müşteriler Isolast® J9670 sızdırmazlarıekipmanlarına entegre etti.

CVD aleti

Vakumu plazmada tutar[No text in field]

Sızdırmazlık problemi:
Amaç, bir proses odasındaki kesintisiz bir döner besleme sisteminin sızdırmazlığını sağlamaktı. Reaktif plazma gazlarını tutmak için500 Tor vakum basıncı ve sıkı bir sızdırmazlık sistemigereklidir. Oda bir saat boyunca sürekli olarak kullanıldı ve her saatte bir beş dakika kapatıldı. 

Çözüm:
Turcon® Variseal® CM, Turcon® T78 ceket ve orta seviye yüklemeliHastelloy® yayve Isolast® O-Ring.

Sonuç:
Turcon® Variseal® CM servis süresi içerisinde, plazma gazlarına maruz kaldığında gerekli vakum basıncını korumayı başardı.

Hizmet Koşulları:

  • Vakum
  • 121°C / 250°F
  • 5 ila 7 rpm
  • Gazlar

Elektrikli CVD motoru

Elektrikli CVD motor için döner sızdırmaz

Sızdırmazlık problemi:
Amaç, mevcutkauçuk ağızlı sızdırmazıkimyasal olarak inert,kontaminant olmayan ve uzun ömürlü bir sızdırmazla değiştirmekti. Ürünün mevcut donanımın içerisinde güçlendirilmesi gerekiyordu.

Çözüm:
Turcon® T78'de düşük gaz çıkışlı Turcon® Varilip® PDR  enerji sağlayıcı olarak FKM O-Halka. 

Sonuç:

Turcon® T78 malzeme uygulamalarda maruz kalınan saldırgan gazlara karşı etkin direnç sağladı ve aynı zamanda elektrikli CVD motorun kullanım ömrünü uzattı.

Hizmet Koşulları:

  • 0 /inç kare
  • Ortam
  • 5.41 m/s / 17.7 fit/ s
  • Nitrojen

Yüksek vakumlu silikon devre levha işleme cihazı

Sıkı sızdırmazlık testlerinden başarıyla geçti

Sızdırmazlık problemi:
Helyum gibi hafif gazlarınsızdırmazlığını sağlamak özellikle zor olabilir.Çünkü helyum gazı yüzey kaplamasındaki çukurluklardan sızabilir. 

Yüksek vakum basıncıyla bir araya geldiğindebu uygulama çok zorlaştı ve bu yüzden contanın son derece sıkısızdırmazlık testlerinden geçmesi gerekti. Ayrıca, sızdırmaz kanalının sızdırmaz düşmeden kuvarstan kaldırılabilecek şekilde ürünü kaplaması gerekiyordu. 

Çözüm:
Özel Turcon® Variseal® MF , Turcon® T01 ceket veiki adet iç içe geçmeli ağır yük taşıyıcı V-yay. 

Sonuç:
Contayı yukarıdaki şemada görülen şekilde sıkıştırmak yalnızca contayı kanalın içinde tutmaz, aynı zamanda sızıntı olasılıklarından birini de ortadan kaldırır. İç içe geçmiş V-yaylar, sızdırmaz ceketine sıkı sızıntı gerekliliklerine uyacak şekilde gerekli yükü uygularlar. 

Hizmet Koşulları:

  • 3.6 x 10-6 torr
  • -73°C - 100°C / -100°F - 212°F
  • Statik
  • Helyum

Ürünler:
Variseal® MF V-yay ile harekete geçirilen yüzey sızdırmazı

Silikon devre levhası fab üretimi

Isolast® bakım gereksiniminin azaltılmasına yardımcı olur

Sızdırmazlık problemi:
Fab üretim prosesinin bir parçası olarak, her film bırakma proses adımından sonra, kuru bir 'şerit' sistemi silikon devre levhalarından fotorezist ve kalıntıları temizler. 

Silikon devre levhası bu amaçlayüksek sıcaklıklarda gaz halindeki oksijen plazmaya maruz bırakılır. Bu,sistemdeki sızdırmazların hızla bozulmasına yol açarBöylece sızdırmazların sıkça değiştirilmesi gerekir ve üretim kesintilere uğrar.

Çözüm:
Yüksek sıcaklıktaki plazma ortamlar için özel olarak tasarlanan ve solast® Fab Serisi™ J9670'ten üretilenO-Halkalar mevcut sızdırmazların yerine kullanıldı.

Sonuç:
Bakım döngüleri uzadı.Sızdırmaz değişiklikleri arasında üretilen silikon devre levhası sayısı 15.000-20.000'den 50.000'in üzerine çıktı. Bu fab üreticisinin planlanan bakımlar arasındaki ortalama kullanım süresini ve, genel üretim verimini artırma ve maliyetleri düşürme gibi amaçlarına uygundu.

Silikon devre levhası kartları

Isolast® sahip olma maliyetini düşürür

Sızdırmazlık problemi:
Büyük silikon devre levhası prob kartı üreticilerinden biri üretim prosesinde plazma aşınma ekipmanı kullandı ve sızdırmazlar saldırgan plazmalara ve temizleyici ajanlara maruz bırakıldı

Plazma aşınma ekipmanına takılan O-Halkalar planlı bir önleyici bakım tedbiri olarak düzenli şekilde değiştirildi. Müşteri planlı bakım süreleri içerisindeki teslim sürelerini artırarak sahip olma maliyetini azaltmak istedi.

Çözüm:
Yüksek sıcaklıktaki plazma ortamlar için özel olarak tasarlanan ve Isolast® Fab Serisi™ J9670'ten üretilenO-Halkalar mevcut sızdırmazların yerine kullanıldı.

Sonuç:
Isolast® Fab Range™ J9670'ten üretilen O-Halkaların daha uzun sızdırmazlık ömrünesahip olduğu kanıtlandı. Bu, planlanan bakım süreleriiçerisindeki teslim sürelerinin uzatılabileceğive sahip olma maliyetini azaltma hedefine ulaşıldığı anlamına geliyordu.

Silikon devre levha işleme ekipmanları

Sızmaların ortadan kaldırılması

Sızdırmazlık problemi:
Bu uygulamada kullanılan sızdırmazın iki adet sızdırmazlık testini geçmesi gerekti— Helyum sızıntısının 10cc/saniyeyi geçmemesi gerekiyordu.Su sızdırmazlığı için ise, sızdırmazın damlama yapmaması gerekiyordu. Ayrıca sürtünmenin de düşük olması gerekiyordu.

Çözüm:
Flanşlı

FW

T05 ceket ve orta seviye yüklemeliSlantcoil® yay.

Sonuç:
Bu örnekte, dış çaptaki sızmaları etkin şekilde ortadan kaldırmak için Flanşlı Turcon Variseal FW kullanıldıÖte yandan, orta seviye yüklemeli yay sürtünme ve sızdırmazlık arasındaki uygun dengeyi sağladı.

Hizmet Koşulları:

  • 0 ila 0,6 MPa / 0 ila 90 psi
  • 52°C ila 200°C / 125°F ila 392°F
  • 0,4 d/d
  • 0,05 m/s / 0,16 fit/s
  • Hidrojen, Su, HCl

Ürünler:
Turcon® Variseal® W Slantcoil yaydan hareketli piston kolu sızdırmazı 
Turcon® Variseal® FW Slantcoil yaydan hareketli flanş sızdırmazı