半導体 - 製品紹介 - Trelleborg Sealing Solutions

製品紹介

革新的なシール製品群

長年のシール製品に関する経験をもとに、当社では 革新的な幅広い製品群 、最適なシール製品をご提案しています。 当社の多くのシール製品は、半導体製造工程での日々高まる厳しい要求に応えるために開発されました。

 ニューマシール

空気注入式膨張シール:ニューマシール

Sanitary industryニューマシールはゴム製のチューブ状シールで、圧縮空気などによって膨らむことでシール機能を発揮する空気注入式のシールです。 従来のフラット・ガスケットやOリングが使用されているウェハのロードロックやクリーンルームのドア用シールの性能向上用途として理想的です。

ニューマシールに関する詳細情報は、 最寄りのTSS までお問い合わせください。

金属・樹脂とゴムの接合部品

金属・樹脂とゴムの接合部品[No text in field]

当社では、ステンレス、軟鋼、アルミニウム、真鍮や様々なプラスチック等の多様な表面へ FKMIsolast®(FFKM)を効果的に接合いたします。.

組み付け効率向上とシール性の両立
金属・樹脂とゴムとの接合シール部品のメリット:

  • シールの機能を最大化
  • シールと溝のスキマに発生するコンタミ問題を解消
  • 簡単に組み付けが行える
  • 在庫の削減
  • 組み付け効率の向上

金属・樹脂とゴムの接合シール部品に関する詳細情報は、 最寄りのTSS までお問い合わせください。

Fleximold™ 大径シール

Fleximold™大径シール

独自のFlexiMold™方法によって、当社では高品質な大径Oリング等を製造しています。

リードタイムを短く・型代を安く
これらのシールは、外観と寸法精度を両立した成型品です。専用型が必要なく、リードタイムが短いので 従来の圧縮成型品に比べ低コストで製作可能です。

幅広いエラストマー材質をご利用いただけます。
内径500mm以上のOリングやその他特殊断面形状
の場合にお薦めします。

  • JIS B 2401、ISO 3601-1規格、AS568の規格品と規格記載にはないような超大径のOリングでも提供可能です。
  • 規格の線径(JIS B 2401、ISO 3601-1規格、AS568)であれば、型代は掛かりません。
  • 大断面や特殊断面形状につきましては別途お問い合わせください。
  • イソラスト(FFKM)、レジフロー™(高機能FKM)、FKM、EPDM、HNBR等の幅広い材料にて大径Oリングが提供可能です。
  • 個別梱包で“ゼロディフェクト”品質方針で製造されています。
  • クラス100のクリーンルームでの洗浄・製品梱包が可能で、特急サービスも可能です。

超大径Oリングは半導体プロセスや液晶パネル、太陽電池パネル製造などの分野で使用されています。

Fleximold™に関する詳細は、 最寄りのTSS までお問い合わせください。

Oリング

あらゆるサイズのOリングにお応えします。

当社では価格と性能のバランスのとれた費用対効果の高い、幅広いOリング製品を提供しています。 当社独自の Fleximold™ による超大径Oリング製造等、あらゆるサイズのOリング(規格品、特殊設計品)を提供しています。

幅広い材料の中から使用条件にあった最適なシール材料をお選びいただけます。

標準的なエラストマー材から半導体製造プロセス向けに開発した最先端材料まで、 幅広い材料の中からお客様の使用条件に最適なシール材料のOリングをご用意しています。

推奨される材料:

Oリングと Fleximold™ に関する詳細情報

ターコン®バリリップ®PDR

高速・低圧用回転シール:ターコン®バリリップPDR[No text in field]

高速・低圧用回転シール:ターコン®バリリップPDR(Performance, Durability, Reliability)は、 精密に機械加工を施した金属シールケースと、機械的にケースに固定した1枚もしくは複数枚のターコン®(当社独自のPTFEベースのシール材料)シールリップで構成されたシールです。

精密に機械加工を施された金属シールケースがハウジングにしっかりと固定されるため、ターコン®シールリップは であっても軸に対し優れたシール性を発揮します。

低フリクションなので機器の消費電力も少なくなります。
低フリクションでスティックスリップが起こり難いという特徴をもつターコン®バリリップPDRが、発熱を抑え、機器の高速回転、低消費電力化を可能にしています。 半導体向け真空ポンプに良く使われるフォンブリンを潤滑油(あるいはシール媒体)に使用した場合のテスト結果から、ターコン®バリリップPDRは 一般的なオイルシールに比べ約50%のトルク低減が可能になることがわかりました。 この結果はに寄与します。

ターコン®バリリップPDRのメリット:
PTFE材(ターコン®)のシールリップ

  • 低フリクションによって電力損失や摩擦熱を低減。
  • 独自の螺旋溝による自己潤滑性により、更なる低フリクション化。
  • 高速回転用途で優れたパフォーマンスを実現するために開発された画期的なシール形状。
  • 複数シールリップの構成によって、お客様のニーズにお応えします。
  • ほぼ全ての流体へ耐薬品性。
  • FDA準拠の材料も提供可能です。

金属シールケース

  • 高温・腐食性媒体下などの過酷な環境下での耐久性
  • 精密な機械加工により外径側の優れたシール性を実現
  • 温度サイクルへの耐久性
  • 金属ケース材料はステンレス鋼やアルミニウム等の材料からお選びいただけます。 ハステロイ®やチタニウム等の特殊材料の使用を希望される際は、 最寄りのTSS へご相談ください。
  • 優れた耐腐食性
  • 精密な機械加工仕上げによる固定時のシール性向上

ターコン®バリリップPDRの特徴

  • 機器の消費電力を低減。
  • 最大周速:60m/s(60m/s以上は特殊設計となります。)
  • 幅広い使用温度域(-60℃ ~ +200℃)
  • ドライ運転や軟らかい軸での使用が可能
  • ISO溝のオイルシール溝互換
  • ゴム製シールと違い、保管期限がありません。

ターコン®バリシール®

低フリクションを実現するターコン®バリシール

PTFEシールジャケット+金属スプリング内蔵シール:バリシールは、高真空や腐食性の高い使用環境などの高腐食性ガスや薬液を使用する条件での 半導体製造プロセスの中で最も過酷なアプリケーションで使用されています。

信頼性の高いシール環境
最適なPTFE材(充填材入りPTFE材を含む)と最適な金属スプリング材料・形状を選択することによって最も信頼性の高いシール環境が実現可能になります。

ターコン®バリシールは低フリクション化・シールの長寿命化を実現しながら固定、運動用途でご利用いただ

半導体製造装置向けに開発されたターコン®バリシール:

Turcon Variseal NW

フッ素系ガス環境に最適なターコン®バリシールNW

ターコン®製シールジャケットが金属スプリングを包むように内蔵した形状となっているため、スプリングやスプリングキャビティがシステム内の薬液と接触しないような独自設計となっています。 半導体用途での真空やフッ素系のガスを使用用途に最適です。

ターコン®バリシールNWの特徴:

  • 動作温度域:-253℃ ~ +260℃
  • 10⁻⁹ mbar/ l / sの真空環境で使用可能(NW25サイズでのリークレート。測定媒体は空気。)
  • 優れた耐磨耗性と低フリクション性
  • 殆ど全ての流体やガス(高温時のフッ素系ガスを含む)への耐性
  • Oリングを使用したNWフランジシールへのレトロフィット可能。特殊設計も対応可能

 

Turcon Variseal PS

金属溶出が問題となる用途向けターコン®バリシールPS™

この高機能シールは、ターコン®シールケースが高分子樹脂材料スプリングを包むよう内蔵した形状となっています。 スプリングは高圧時にシステム内の圧力とスプリングの反発力を合わせた力がシールジャケットに伝わるように設計されています。 また低圧時であっても正確にシールジャケットに反発力が伝わるよう開発されています。 ターコン®バリシールPSはいかなる金属も使用していない為にSEMI standard F57-0301準拠試験でも金属溶出が極めて少なく、アウトガスを最小限に抑えます。 特にウェットプロセスでの使用に適しています。

ターコン®バリシールPS™の特徴:

  • 金属溶出が極めて少なく、アウトガスが起こらない。
  • 使用温度:-253℃ ~ +80 ℃
  • 真空環境:5.3 x 10-8 mbar・l/s真空状態で使用可能
  • 優れた耐磨耗性と低フリクション性
  • 殆ど全ての薬品への耐性
  • カスタム設計可能

Turcon Variseal Ultra Clean

究極のクリーン環境を可能にするターコン®バリシールウルトラクリーン™

ターコン®バリシールウルトラクリーン™は究極のクリーン環境を実現します。 極めて高いレベルのクリーン度を必要とするプロセス機器に最適です。 ターコン®バリシールウルトラクリーン™は、金属スプリングをPTFEジャケットで完全に覆う独自のシール構造となっており、 これにより、ごく僅かなコンタミが製造歩留まりに支障をきたす半導体プロセスにおいても金属溶出(不純)物を完全に排除することができます。

ターコン®バリシールウルトラクリーン™:

  • 低温から高温までの広い使用温度範囲:-253℃ ~ +260℃
  • 100 bar / 1450psiを超える高圧への耐久性
  • 優れた耐磨耗特性と低フリクション特性
  • 殆ど全ての流体への耐性
  • ピストン、ロッド、回転機器、固定用シールに適します。
  • AS568規格のOリング溝及び、バリシールの溝に互換性があります。

V-リング

V-リング

V-リングはシールリップに特殊な機械加工を施した回転軸用のゴム製シールです。 システム内にゴミ、埃、水、残留潤滑剤の侵入防止に最適なシール製品です。12 m / sまでの速度で作動するCMP装置やダイサー等で使用できます。

推奨シール材料:

  • FKM
  • イソラスト Fab Range™

ロータリーシール と Vリング に関する詳細はこちら。

ウィルスリング®

メタルリング:ウィルスリング

ウィルスリングはポリマー製シールでは使用できない過酷な環境で使用する金属製のシールです。

過酷な使用環境で使用いただけます。
圧力範囲は超真空状態から1000Mpaの超高圧まで、使用温度域は極低温領域から+850℃までの温度範囲で使用することができます。

様々な断面形状と材質
ウィルスリングは様々な金属材料で、断面形状が O型 と C型 の断面形状タイプをご用意しております。 断面形状がO型のタイプにはガスを封入し、温度上昇時の金属管強度を補うタイプ、通気孔穴を設けシステム内の圧力で反力を補うタイプがあります。 断面形状のC型のタイプはシステム内の圧力でシールの反力を増幅させシール性を高めています。

※ シール性の要求が低い用途向けに大気圧のガスを封入したシール(中空タイプ)もご用意しておりますが、限界の使用温度域が狭くなります。

※ 高い締め付けトルクが必要になる中実タイプもあります。

ウィルスリングの製品詳細は下記をクリックして下さい。: