半導体 - 材料紹介 - Trelleborg Sealing Solutions

 / 高機能シール製品

当社では革新的で豊富なシール材質をもとに、革新的なシール製品群を提供しています。 標準的なエラストマー材料から、半導体製造向けに開発した最先端の高機能コンパウンド材料を使用した 特殊成型品やボンデッド製品はもちろんのこと、多種多様(規格品または特殊品)なサイズのOリングを提供しています。 これらの革新的なシール材料によってシール寿命を延ばし、ダウンタイムの低減や生産効率の向上に貢献しています。

当社オンラインツールで、お客様の用途に最適な材料検索が行えます。:

  • 材料検索 機能は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 耐薬品性リスト では、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。

上記2機能は当社会員サイトでご使用いただけます。. 会員サイトはこちら!

高機能熱可塑性プラスチック製品

高機能 熱可塑性プラスチック製品

PEEK™(ポリエーテルエーテルケトン)やポリイミド材の高機能熱可塑性プラスチックによって、 画期的なシール製品をご提案しています。 これらの材料は耐高温性、耐薬品、耐プラズマ性、静電気制御、低アウトガスといった特徴をもっています。

ベアリングからベローズまで
ハイモッドウェアリングベアリングは、高い形状安定性とクリーン性が要求される多くの半導体用途で使用されています。

PTFEベースの ターコン® 材を使用したコンポーネントとしてベローズ等があります。 ターコン®製ベローズは高いクリーン性と耐薬品性をもち、ゴム製ジョイント等からの置き換える際の選択肢の一つとなっています。

熱可塑性プラスチックシール製品に関する詳細情報は、 最寄りのTSS にお問い合わせ下さい。

当社オンラインツールで、お客様の用途に最適な材料検索が行えます。:

  • 材料検索機能 は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 耐薬品性リストでは、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。

FKM

効果的なFKMシール

フッ素化エラストマー(FKM)シールは220℃以下の真空ポンプやウェットプロセス等の用途に最適なシールです。

当社のFKMシール材料は、半導体製造業界で使用される幅広い化学薬品に耐性があり、 真空用途で使用する際には、低いガス透過性とアウトガス、高いクリーン性を実現します。

Products:

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  • 材料検索 機能は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 対薬品性リスト では、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。

イソラスト®Fab Range™

イソラスト Fab Range™

イソラスト Fab range™ は究極のエラストマーシール材です。
これらの高機能パーフロロエラストマー(FFKM)は事実上不活性で、 325℃までの温度で使用可能で、殆ど全ての薬品に対し耐性をもっています。

半導体業界向けに開発したシール
イソラスト Fab Range™は半導体製造業界向けに開発したシール材料です。

  • ウェットプロセス用イソラストJ9610 – 極めて高いレベルの耐薬品性をもっています。
  • 高温ウェハプロセス用イソラストJ9650 – 高温プロセスでクリーン環境を実現します。
  • ドライ / プラズマウェハプロセス用イソラストJ9675-優れた耐薬品性を持ち、パーティクルの発生を最小にします。

イソラストFab Range™ シール材料は規格(標準)Oリング、規格外のOリング、特殊成型品、金属と接着した部品として提供しています。 これらのシールはクリーンルーム内で製造・梱包されています。

Isolast®Fab Range™ Publications

当社オンラインツールで、お客様の用途に最適な材料検索が行えます。:

  • 材料検索 機能は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 耐薬品性リスト では、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。

レジフロー™ 500

優れた性能とコストパフォーマンスを実現:レジフロー™500

レジフロー™500はポリマー構造を改良した高機能FKMシール材料です。 レジフロー™500はEPDMのもつ極性流体、アルカリ、酸への耐薬品性と FKMの様々な流体へ高機能性を合わせもつように開発されています。

優れた耐性をもつシール
レジフロー™500は多様な化学薬品や流体に対し優れた耐性をもっています。 PTFE同様にオーガニックカーボンが低く、低い金属溶出性を持ち、優れたクリーン性を提供します。

レジフロー™に関する詳細情報は、最寄りのTSSにお問い合わせください。 TSSへのお問い合わせはこちら 

Products

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  • 材料検索機能は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 耐薬品性リストでは、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。

ターコン®

当社独自のターコン®材

ターコン®はPTFEベースのシール材の当社の商標です。

ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)は、特性として、殆ど全ての流体への耐性をもっているため、 腐食性の高い流体や薬液にさらされる用途に理想的なシール材料といえます。 充填材の種類や特別な製造方法によって機能を向上させ、使用用途に合わせ最適化したPTFE材を豊富に用意しています。

往復運動と回転運動用シール製品
ターコン®シール材料:

  • 優れた低フリクションと自己潤滑特性をもっています。
  • 往復運動と回転運動でご使用いただけます。

世界最大級のPTFEシール製造メーカー
トレルボルグシーリングソリューションズはPTFEシールの世界最大級の製造メーカーであり、 他に類を見ない幅広いPTFE製品群を提供しています。 当社PTFEシールは全て、ヨーロッパ、アメリカ・南米・アジアの自社工場で製造されています。

製品:
ターコン®シール材は、様々な形状のシールとして使用されています。 下記の製品は半導体業界で使用される当社PTFEシール群です。

当社オンラインツールで、お客様の用途に最適な材料検索が行えます。:

  • 材料検索 機能は、お客様の物性要求を満たす材料、規格や標準に合致した材料を検索できます。
  • 耐薬品性リスト では、半導体製造業界で使用される様々な薬品、流体、ガスに対する材料の耐性を確認することができます。