Competenze nelle soluzioni di tenuta dei Semiconduttori

One-stop-shop per le soluzioni di tenuta nei semiconduttori

Springs

La nostra gamma di tenute per i semiconduttori offre:

  • Resistenza a temperature dal criogenico fino a 850°C / 1562°F
  • Compatibilità Chimica praticamente universale
  • Eccellente stabilità sia termica che in condizioni di vuoto o di elevati livelli di pressione
  • Livelli di impurità ioniche estremamente bassi (anionici e cationici)TOC (Total Organic Carbon)
  • Generazione di particelle minima e degassamento anche a temperature elevate
  • Bassi livelli di permeazione
  • Assorbimento IRridotto e perdita di peso
  • Buonecaratteristiche meccaniche
  • Bassi livelli dicompression set
  • Resistenza nei processi chimici con condizioni di lavoro a secco e lubrificate

Scopri le nostre guarnizioni per le differenti applicazioni dei semiconduttori:

Agenti chimici particolari

LSR3

Resistenza agli agenti chimici più aggressivi

Nellaproduzione dei semiconduttori, le tenute sono sottoposte a alcuni dei più aggressivi agenti chimici. Questi includonoacidi, alcali, solventi e gas dei più distruttivi

Massimizzare la compatibilità delle tenute

Trelleborg Sealing Solutions ha concentrato i propri sforzi per massimizzare la compatibilità dei materiali standard con i media e lo sviluppo di materiali speciali, come l' Isolast® Fab Range™ nei materiali perfluoroelastomerici.

L'Isolast® Fab Range™ è praticamente compatibile con tutti i media e gas, come i nostrimateriali Turcon® PTFE.

Semplice scelta del materiale di tenuta per il settore dei semiconduttori

Per identificare il materiale ideale per le applicazioni dei semiconduttori vi forniamo lo strumento online Controllo della Compatibilità Chimica.

Temperature elevate

Resistenza alle temperature elevate

Le applicazioni con temperature elevate dei processi wafer processing e plasma includono Rapid Thermal Processing (RTP), Chemical Vapor Deposition (CVD) e plasma a secco ecc.

Massima performance di tenuta
Le tenute devono resistere a temperature sopra i 300°C / 572°F garantendo i principali requisiti di basso degassamento e minima generazione di particelle. I materiali di tenuta di Trelleborg Sealing Solutions sono sono testati per resistere in condizioni di costanti temperature elevate resistendo anche agli agenti chimici più aggressivi.

Prodotti e materiali per il settore dei semiconduttori:

Sistemi plasma

Le applicazioni estreme dei sistemi plasma

Plasma is used at various stages during semiconductor wafer fabrication.

The plasma state is created when a gas is subjected to energy, breaking down its molecular integrity and dissociating it into ions and electrons. Many of the gases used to do this in semiconductor processes are toxic, reactive and pyrophoric.

Ultra-pure sealing solutions

It is essential that seals withstand this harsh plasma environment, where they will be subject to high energy and possibly elevated temperatures. Inadequate sealing can lead to contamination and affect product yield. Ultra-pure sealing solutions from Trelleborg Sealing Solutions ensure long-term reliability with minimal particulation and extremely low outgassing.

Recommended semiconductor sealing materials:

Condizioni di vuoto

Operare nel vuoto

Vacuum technology plays a critical role in semiconductor manufacturing, being key to process yield and productivity. Semiconductor applications range from dry pumps to more complex subsystems for processes such as photolithography. Maintaining a consistent vacuum is vital, as even minor fluctuations can have a negative affect on the whole production cycle.

Sealing solutions proven through rigorous testing
Effective sealing is an important element in achieving consistent vacuum. To identify the optimum seal for this environment Trelleborg Sealing Solutions has undertaken extensive long-term testing to prove a range of sealing solutions that are now effectively operating in vacuum conditions globally.

Turcon® Variseal® gives outstanding results
Tests have been undertaken with Turcon® Variseal® in semiconductor applications. The seal was subjected to helium spray and achieved sealing with helium to 10-6 mbarl/s and with air to 10-9 mbarl/s. Theses are outstanding levels for polymeric seals.

Our range of seals for semiconductor vacuum applications:

Processi con liquidi

Challenging wet process applications

Semiconductor wet manufacturing process steps include etching, stripping, plating and CMP (Chemical Mechanical Planarization). These are followed by wafer cleaning, removal of all surface contamination of particulates, organics, metallics and native oxides. Plus all liquids used must have extremely high purity.

These chemically intensive semiconductor processes involve wet process chemicals including acids, such as hydrofluoric, alkaline solutions like sodium hydroxide and solvents, typically N-methylpyrrolidone or acetone.

Seals with universal chemical resistance

Optimum seal performance is critical in ensuring maximum uptime throughout the ULSI (ultra large scale integration) process. Trelleborg Sealing Solutions offers semiconductor sealing materials that give almost universal chemical resistance, minimum leach out of ionic impurities and extremely low particulation in wet process applications.

Recommended semiconductor sealing materials: