Félvezető tömítő képesség

Félvezető tömítések, mindent egy helyen

Springs

A félvezető tömítés termékválasztékunk az alábbiakat kínálja:

  • Működési hőmérséklet a kriogéntől akár 850°C / 1562°F-ig
  • Szinte univerzális vegyi ellenállóképesség
  • Kiváló stabilitás mind termikus tekintetben mind vákuumban vagy magas nyomás esetén
  • Extrém alacsony szintű ionikus szennyeződés (anionikus és kationikus) valamintTOC (Total Organic Carbon) (Teljes szerves szén)
  • Minimális részecskeképződés és kigázosodás még magas hőmérsékleten is
  • Alacsony permeációs arány
  • Csökkentett IR elnyelés és súlyvesztés
  • Jó mechanikai teljesítmény
  • Alacsony visszafordíthatatlan alakváltozás
  • Ellenállás a száraz és nedves folyamat vegyianyagainak

Fedezze fel tömítéseinket a különböző félvezető környezetben:

Ellenállás a legsúlyosabb vegyianyagokkal szemben

A félvezetők gyártása során, a tömítések néhány, az általunk ismert legveszélyesebb vegyianyagoknak vannak kitéve. Ilyenek például a savak, lúgok, oldószerek és gázok és ezek a legpusztítóbb formában.

A tömítési kompatibilitás maximalizálása
Trelleborg Sealing Solutions koncentrálta az erőfeszítéseit a kompatibilitás maximalizálásában a hagyományos tömítési eljárások és az olyan speciális összetevők fejlesztésével, mint az Isolast® Fab Range™ a perfluoroelasztomer anyagok közül.

Az Isolast® Fab Range™ tömítőanyagok szinte univerzálisan kompatibilisek az összes közeggel és gázzal, akárcsak a mi élvonalbeli Turcon® PTFE alapú összetevőink..

Az optimális félvezető tömítőanyag egyszerű kiválasztásaAzért, hogy kiválaszthassa a megfelelő félvezető tömítő anyagot az alkalmazásához, kifejlesztettünk egy online eszközt, a Vegyi Kompatibilitás Ellenőrzőt.

Ellenállás a magas hőmérsékletnek

Magas hőmérsékletű félvezető lapka feldolgozás és a plazma alkalmazások közé soroljuk a a gyors hőkezelést (RTP), kémiai gőzfázisú leválasztást (CVD) és száraz plazma maratást.

Maximális tömítési teljesítmény
A tömítésnek el kell viselnie 300°C / 572°F feletti hőmérsékletet két fő követelménnyel melyek az alacsony kigázosodás és a minimális részecske generálás. A Trelleborg Sealing Solutions tömítőanyagai bizonyítottan sikeresen működnek folyamatosan emelkedő hőmérsékleten miközben ellenállnak a legsúlyosabb vegyianyagoknak és közegeknek.

A javasolt félvezető tömítő anyagaink és termékeink:

Nagy igényeket támasztó plazma rendszerek

A Plazma a félvezető lapka előállítás különböző szakaszaiban használatos.
A Plazma állapot akkor jön létre, ha a gáz energiahatásnak van kitéve, amely lebontja a molekuláris integritását és szétválasztja ionokra és elektronokra. A gázok nagy része a félvezető gyártásban savas, reaktív és gyúlékony.

Ultra tiszta tömítési megoldások
Gyakran szükséges, hogy a tömítés ellenálljon a durva plazma környezetnek,ahol ki van téve magas energiának és nagy valószínűséggel növekvő hőmérsékletnek. Nem megfelelő tömítés szennyeződéshez vezet és kihatással van a termelésre. Az ultra tiszta tömítési megoldások a Trelleborg Sealing Solutions-tól biztosítják a hosszú távú megbízhatóságot minimális részecskeszórás és extrém alacsony kigázosodás mellett.

A javasolt félvezető tömítő anyagaink:

Működés vákuumban

A vákuum technológia kritikus szerepet játszik a félvezető gyártásban, kulcsfontosságú a termeléshez és a termelékenységhez. Félvezető alkalmazások a szárazanyag szivattyúktól a jóval bonyolultabb alrendszerekig az olyan folyamatokhoz mint a fotolitográfia. Az állandó vákuum fenntartása létfontosságú, mivel még apró ingadozások is negatív hatással lehetnek az egész gyártási folyamatra.

A tömítési megoldások bizonyítottak a precíz tesztelés során
A hatékony tömítés fontos eleme az állandó vákuum elérésének. Az ilyen környezethez optimális tömítés kiválasztásához a Trelleborg Sealing Solutions kiterjedt hosszú távú bizonyító teszteknek vetette alá a tömítési megoldásait, melyek azóta hatékonyan működnek vákuum alatt világszerte.

Turcon® Variseal® kiváló eredményeket ér el
Teszteknek vetettük alá a Turcon® Variseal®-t a félvezető gyártásban. A tömítés hélium permetnek volt kitéve és tömítettséget sikerült elérni héliummal 10-6 mbarl/s-ig és levegővel 10-9 mbarl/s-ig. Ezek kimagasló eredmények polimerikus tömítésektől.

A félvezető vákuum alkalmazás tömítéseink választéka:

 

A nedves folyamat kihívásai

Félvezető tömítések nedves folyamatbeli alkalmazása alatt marást, fűrészelést, galvanizálást és a CMP-t (Kémiai mechanikai polírozást) értjük. Ezek után következik a lapka tisztítás, minden felületi részecskeszennyeződés eltávolítása, szervesé, fémesé és a natív oxidoké. Ezenfelül minden használatos folyadéknak extrém tisztaságúnak kell lennie.

Ezek kémiailag intenzív félvezető folyamatok bevonva a nedves folyamatok vegyi anyagait ideértve a savakat, mint például a fluorsav, lúgokat, mint a nátrium hidroxid és oldószereket, általában N-methylpyrrolidone vagy aceton.

Tömítések univerzális vegyi ellenállóképességgel
Az optimális tömítési teljesítmény kritikus a maximális működési idő (uptime) érdekében az ULSI (ultra large scale integration) folyamat során. A Trelleborg Sealing Solutions által kínált félvezető tömítő anyagok szinte univerzális vegyi ellenállást nyújtanak, minimális ionos szennyeződés kimosódást és extrém alacsony részecskeszámot a nedves folyamatok alkalmazásánál.

A javasolt félvezető tömítő anyagaink: