Mogućnosti brtvljenja u industriji poluvodiča | Trelleborg

Trgovina sa svim potrebnim za brtvljenje u industriji poluvodiča

Springs

Naš asortiman poluvodičkih brtvenih proizvoda nudi:

  • Radne temperature od temperature suhog leda do najviše 850°C / 1562°F
  • Gotovo univerzalna kemijska otpornost
  • Izvrsna stabilnost, toplinska i u uvjetima rada u vakuumu ili pod tlakom
  • Iznimno niske razine ionskih nečistoća (anionskih i kationskih) i TOC-a (Ukupnog organskog ugljika)
  • Minimalno stvaranje čestica i otpuštanje plinova, čak i pri povišenim temperaturama
  • Niske razine prodiranja
  • Smanjena IC apsorpcija i gubitak težine
  • Dobra mehanička učinkovitost
  • Niska razina dugotrajne tlačne deformacije
  • Otpornost na kemikalije u tehnologijama suhe i mokre obrade

istražite naše brtve za razna poluvodička okruženja:

Zahtjevne kemikalije

Otpornost na zahtjevne kemikalije

LSR3U proizvodnji poluvodičabrtve su izložene djelovanju najzahtjevnijih poznatih kemijskih medija. Oni obuhvaćaju kiseline, alkaloide, otapala i plinove najrazornijih vrsta.

Maksimiziranje kompatibilnosti brtve
Tvrtka Trelleborg Sealing Solutions usmjerava svoja nastojanja na maksimiziranje kompatibilnosti standardnih brtvenih formula s medijima te na razvoj specijaliziranih spojevapoput asortimana perfluoroelastomernih materijala Isolast® Fab Range™

Asortiman perfluoroelastomernih materijala Isolast® Fab Range™ gotovo je univerzalno kompatibilan sa svim medijima i plinovima, baš kao što su to i naše vrhunske komponente čiji je osnov Turcon® PTFE.

Jednostavan odabir optimalnog poluvodičkog brtvenog materijala
Da bismo vam pomogli u odabiru optimalnog poluvodičkog brtvenog materijala za vašu primjenu, osigurali smo online alat Provjera kemijske kompatibilnosti.

Visoke temperature

Podnošenje visokih temperatura

Primjene u obradi poluvodičkih pločica zagrijavanjem na visoke temperature i upotrebom plazme obuhvaćaju brzu toplinsku obradu (RTP), kemijsko naparavanje (CVD) i jetkanje u plazmi.

Maksimalna brtvena učinkovitost
Brtve moraju izdržati temperature iznad 300°C / 572°F, uz ispunjavanje glavnih zahtjeva za niskom razinom otpuštanja plinova i minimalnim stvaranjem čestica.
Brtveni materijali tvrtke Trelleborg Sealing Solutions dokazano uspješno rade u uvjetima stalno povišenih temperatura, a istodobno podnose zahtjevne kemikalije i medije.

Preporučeni poluvodički brtveni materijali i proizvodi:

Sustav plazmi

Zahtjevni plazma-sustavi

Plazma se upotrebljava u raznim stadijima proizvodnje poluvodičkih pločica.

Stanje plazme nastaje kada se plin podvrgne izvoru električne energije, pri čemu dolazi do razbijanja njegove molekularne cjelovitosti i razdvajanja na ione i elektrone. Mnogi plinovi koji se u tu svrhu koriste u proizvodnji poluvodiča otrovni su, reaktivni i piroforni.

Ultračista brtvena rješenja
Veoma je važno da brtve izdrže zahtjevno plazmično okruženje u kojemu će biti izložene jakoj struji te možda i povišenim temperaturama.

Neadekvatno brtvljenje može dovesti do kontaminacije i utjecati na rezultate proizvoda. Ultračista brtvena rješenja tvrtke Trelleborg Sealing Solutions osiguravaju dugotrajnu pouzdanost s minimalnom razinom stvaranja štetnih čestica i iznimno niskom razinom otpuštanja plinova.

Preporučeni poluvodički brtveni materijali:

Uvjeti u vakuumu

Rad u vakuumu

Vakuumska tehnologija igra ključnu ulogu u proizvodnji poluvodiča jer bitno utječe na rezultat postupka i produktivnost. Primjene u industriji poluvodiča kreću se u rasponu od suhih pumpi do kompleksnijih podsustava za postupke poput fotolitografije. Održavanje konzistentne razine vakuuma ključno je, jer čak i mala kolebanja mogu imati negativan utjecaj na cjelokupan proizvodni ciklus.

Brtvena rješenja dokazana u strogim ispitivanjima
Učinkovito brtvljenje važan je element u postizanju konzistentne razine vakuuma.
Kako bi pronašla optimalnu brtvu za takvo okruženje tvrtka Trelleborg Sealing Solutions provela je opsežan, dugotrajan postupak ispitivanja asortimana brtvenih rješenja koja se sada uspješno upotrebljavaju u vakuumskim uvjetima u cijelom svijetu.

Turcon® Variseal® daje izvrsne rezultate
Turcon® Variseal® ispitan je u poluvodičkim primjenama.
Brtva je bila podvrgnuta raspršivanju helija i postigla je brtvljenje uz vrijednost helija do 10-6 mbarl/s i zraka do 10-9 mbarl/s. To su izvrsne vrijednosti za polimerne brtve.

Naš asortiman brtvi za vakuumske primjene u industriji poluvodiča:

Mokri postupci

Zahtjevne primjene u tehnologiji mokre obrade

Stadiji proizvodnje poluvodiča tehnologijom mokre obrade obuhvaćaju jetkanje, otapanje nanosa, platiranje i CMP (Kemijsko-mehaničko poliranje). Njih prate čišćenje poluvodičkih pločica, odstranjivanje cjelokupnog površinskog zagađenja u vidu štetnih čestica, organske tvari, metalnih i prirodnih oksida. Osim toga, sve upotrijebljene tekućine moraju biti iznimno visoke razine čistoće.

Ti kemijski intenzivni postupci proizvodnje poluvodiča sadrže kemikalije za tehnologiju mokre obrade uključujući kiseline poput fluorovodične kiseline, alkalne otopine natrijevog hidroksida i otapala, najčešće N-metilpirolidon ili aceton.

Brtve s univerzalnom kemijskom otpornošću
Optimalna brtvena učinkovitost ključna je radi postizanja maksimalnog trajanja neprekinutog rada tijekom postupka ULSI (integracija ultravisokog stupnja).
Tvrtka Trelleborg Sealing Solutions nudi poluvodičke brtvene materijale koji omogućuju gotovo univerzalnu kemijsku otpornost, minimalno izluživanje ionskih nečistoća i iznimno nisku razinu stvaranja štetnih čestica u primjenama tehnologije mokre obrade.

Preporučeni brtveni materijali za industriju poluvodiča: