Polovodičový průmysl | Příklady aplikací | Trelleborg

Az optimális megoldás

Trelleborg Sealing Solutions együttműködik a félvezető gyártókkal a fejlesztés során. Közösen megtalálhatjuk a legjobb tömítési opciót a különféle alkalmazásokhoz az alapanyagok és a tömítésprofilok széles választékából.

Fedezze fel megoldásainkat
Az aktuális félvezető gyártási folyamatok követelményei növekvő kihívásokat elé állítanak. Hogy megfeleljünk a szükségleteknek, innovatív tömítési megoldásokat - melyek alább vannak felsorolva - fejlesztettünk ki.

CVD berendezés

Hosszabb élettartam a CVD berendezésben

Tömítési probléma:
A CVD berendezés használói magas minőségű tömítő terméket igényelnek A magas vákuumhoz ultra tiszta tömítés szükséges hogy elkerüljük a szennyeződést. Ezenfelül, gyakran van jelen nagy igényeket támasztó vegyi anyag és/vagy hőmérséklet.

Az Ügyfelünk mindig keresi termékeinek továbbfejlesztési lehetőségét, így kipróbálták az O-gyűrű tömítést Isolast® J9670alapanyagból, a meglévő alkalmazásukban.

Megoldás:
az O-Gyűrűk Isolast® J9670-ből készültek. Ez a szabadalmaztatott perfluoroelasztomer összetevő egyike az Isolast® Fab Range™ családnak kimondottan a félvezető gyártáshoz kifejlesztve. Arra tervezték, hogy akár 315°C / 599°F hőmérsékleten dolgozzon és biztosítsa a kimagasló ellenállást szinte minden vegyi anyaggal szemben.

Eredmény:
Az Isolast® J9670 különböző plazma gázokban lefolytatott hat hónapos tesztelése után, nem voltak repedések a tömítésen. Végeredményben a tömítés jobb ellenállás bizonyított az SF6 plazma gázzal szemben mint az előző tömítések. Ez azt jelenti, hogy az Isolast® J9670 hosszabb élettartamot biztosít. 

Az elmúlt két és fél évben ügyfelünk integrálta az Isolast® J9670 tömítéstberendezéseiben.

CVD szerszám

Vákuum fenntartása plazma közegben

Tömítési probléma:
A feladat az volt hogy tömítsünk egy forgó betáp csövet mely behatol a munkakamrába. 500 Torr vákuum fenntartása szükséges szoros tömítés mellett a reaktív plazma gázok jelenléte miatt. A kamra folyamatos használat alatt volt egy órán keresztül, minden órában 5 perc leállással. 

Megoldás:
Turcon® Variseal®CMTurcon® T78köpennyel és közepes terhelésű Hastelloy® rugó valamint Isolast® O-Gyűrű.

Eredmény:
A Turcon® Variseal® CM képes volt megtartani a szükséges vákuumot szakaszos működés közben, mialatt plazma gázoknak volt kitéve.

Működési állapotok:

  • Vákuum
  • 121°C / 250°F
  • 5-7 rpm
  • Gázok

Elektromos CVD motor

Forgó tömítés az elektromos CVD motorhoz

ömítési probléma:
A feladat az volt hogy lecseréljük a jelenlegi gumi ajaktömítést egy kémiailag közömbös, nem-szennyező, hosszú élettartamú tömítésre. Ezt a meglévő berendezésbe kellett utólag beszerelni.

Megoldás:
Turcon® Varilip® PDR Turcon® T78 kivitelben alacsony kigázosodású feszítő FKM O-gyűrűvel.

Eredmény:
A Turcon® T78 alapanyag biztosította a hatékony ellenállásta nagy igényt támasztó gázokkal szemben, valamint megnyújtotta az élettartamát a motornak is.

Működési állapotok:

  • 0 psi
  • Környezet
  • 5.41 m/s / 17.7 ft/ s
  • Nitrogén

Nagy vákuum lapka feldolgozó

Megfelelés a szigorú szivárgás teszten

Tömítési probléma:
A könnyű gázok, mint a hélium szigetelése kimondottan nehéz mert képesek átszivárogni a felületkezelés mélyedésein is. 

Magas vákuummal kombinálva, ez az alkalmazás nagyon bonyolult voltés a tömítéstől elvárt volt a szigorú szivárgásteszteken való megfelelés. Továbbá, a tömítés hornya meg kellett hogy tartsa a tömítést úgy hogy fel lehessen emelni a kvarcból anélkül, hogy a tömítés kiesne. 

Megoldás:
Egyedi Turcon® Variseal® MF Turcon® T01köpennyel és két beágyazott nagy terhelésű V-rugóval

Eredmény:
A tömítés beakasztása a képen látható módon nem csak benntartotta a horonyban, de megszüntette az egyik szivárgási lehetőséget. A beágyazott V-rugók biztosították a megfelelő terhelést a tömítés köpenyén ahhoz, hogy megfeleljen a szigorú szivárgási előírásoknak. 

Működési állapotok:

  • 3.6 x 10-6 torr
  • -73°C - 100°C / -100°F - 212°F
  • Statikus
  • Hélium

Termékek:
Variseal® MF V-rugó feszítésű tengelytömítés

Lapka gyártó üzem

Az Isolast® segíti csökkenteni a karbantartást

Tömítési probléma:
A lapka gyártási folyamat részeként, minden film feldolgozási lépést követően, egy száraz ''hámozó' rendszer eltávolítja a fotorezisztenseket és maradványokat a lapkáról. 

Ennek érdekében a lapkát kiteszik gáznemű oxigén plazmának magas hőmérsékleten. Ez a rendszerben használatos tömítések gyors rongálódását okozta, megakasztva a termelést a gyakori tömítéscserék miatt.

Megoldás:
O-Gyűrűket melyek az Isolast® Fab Range™ J9670 alapanyagból készültek kifejezetten a magas hőmérsékletű plazma környezetbe, alkalmaztunk a meglévő tömítések helyett.

A karbantartási ciklusok kitolódtak, a termelékenység 15-20,000 lapkáról 50,000 lapkára nőtt a tömítéscserék között. Ezzel teljesítettük a lapkagyártó célkitűzését a tervezett karbantartások közötti üzemidő növelése tekintetében, javítva az egész termelékenységet, költségcsökkenés mellett.

Lapka tesztkártya

Isolast® csökkenti a karbantartási költségeket

Tömítési probléma:
Egy vezető lapka szonda kártya gyártó plazma marató berendezést használ a gyártási folyamat során ahol a tömítések nagy igényeket támasztó plazmáknak és tisztítószereknek vannak kitéve. 

A plazma maró berendezésbe szerelt O-gyűrűk rendszeres cseréje a rendszeres megelőző karbantartás része volt. Az ügyfelünk szerette volna csökkenteni a karbantartási költségeket a tervezett karbantartások közti idő kitolásával.

Megoldás:
O-Gyűrűketmelyek az Isolast® Fab Range™ J9670 alapanyagból készültek kifejezetten a magas hőmérsékletű plazma környezetbe, alkalmaztunk a meglévő tömítések helyett.

Eredmény:
Az új o-gyűrűk, melyek az Isolast® Fab Range™ J9670 alapanyagból készültek, sikeresen növelték a tömítés élettartamát. Ezek alapján a tervezett karbantartások közötti idő megnövekedettés a célkitűzést a karbantartási költségek csökkentére teljesítettük.

Lapka feldolgozó berendezés

Szivárgás megszüntetése

Tömítési probléma:
A tömítésnek ebben az alkalmazásban két szivárgásteszten kell megfelelnie— a hélium szivárgás nem haladhatja meg a 10cc/sec-ot, valamint amikor vízzel szemben kell tömítenia tömítés cseppmentes kell hogy legyen. Az alacsony súrlódás szintén követelmény.

Megoldás:
Peremes

FW

T05köpennyel és közepes terhelésűSlantcoil® rugóval.

Eredmény:
Ebben az alkalmazásban a peremes Turcon® Variseal® FW-t használtuk, hogy hatékonyan szüntessük meg a szivárgást a a külső kerület mentén, miközben a középső rugó biztosította az előfeszítést a megfelelő egyensúly eléréséhez a súrlódás és a tömítőképesség között.

Működési állapotok:

  • 0-tól 0,6 MPa-ig / 0-tól 90 psi-ig
  • 52°C-tól 200°C-ig / 125°F-tól 392°F-ig
  • 0.4 rpm
  • 0.05 m/s / 0.16 ft/s
  • Hidrogén, Víz, HCl

Termékek:
Turcon® Variseal® W Slantcoil feszített rúdtömítés 
Turcon® Variseal® FW Slantcoil-feszített peremtömítés